树形结构Si/ZnO纳米线阵列的制备及光学性能

摘要：

用一种低成本的方法制备出了树形结构Si/ZnO纳米线阵列.首先在室温条件下用金属辅助化学腐蚀法在Si(100)衬底上制备了Si纳米线阵列,Si纳米线的直径尺寸及分布都很均匀,通过改变腐蚀时间,能够得到高度不同的Si纳米线阵列.利用磁控溅射在Si纳米线表面制备一层ZnO薄膜,然后利用水热法在Si纳米线阵列上生长了ZnO纳米线.通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱分析仪(EDS)和光致发光(PL)测试对样品进行了表征.通过这种方法制备的Si/ZnO复合结构在太阳能电池、光催化等领域有潜在应用价值.

关键词：ZnO、Si、金属辅助化学腐蚀、水热法、纳米线阵列

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金21101146;国家"973"计划2011CB302004

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：760-763