Mn掺杂对ZnO薄膜结构及发光性能的影响
利用脉冲激光沉积的方法在Si衬底上生长出了c轴高度取向的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射表明所有样品都具有纤锌矿结构,没有发现其它相,随着掺杂量的增加,c轴晶格常数增大.原子力显微镜结果显示:Mn的掺杂引起了ZnO薄膜表面粗糙度的变化.由光致发光谱发现,在387 nm附近出现了由于近带边自由激子复合引起的紫外峰,还有以430和545 nm为中心的较宽发光峰,结果表明:掺入到ZnO薄膜中的Mn以+2价的价态存在,掺Mn以后的ZnO薄膜带隙变大,缺陷能级也发生了改变,在发光谱中表现为紫外峰的蓝移,可见光部分430 nm和545 nm位置处发光峰的红移.
X射线衍射、光致发光、ZnO薄膜、脉冲激光沉积
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O482.31(固体物理学)
Project Supported by the National Natural Science Foundation of China 11079032国家自然科学基金11079032
2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
1247-1250
