热处理对立方相结构Mg0.57Zn0.43O合金薄膜表面和组成的影响

摘要：

MgZnO合金具有可覆盖日盲紫外波段的禁带宽度和晶格匹配的单晶衬底,是理想的日盲紫外探测材料.由于MgO和ZnO分属立方相和六角相,分相问题使高质量单一相MgZnO难以获得.热处理是提高薄膜结晶质量的有效手段.利用MOCVD方法制备了单一立方相Mg0.57Zn0.43O合金薄膜,研究了薄膜的退火行为对薄膜结构和光学性能的影响.研究发现,450℃的原生样品经过550,650,750,850℃氧气氛退火后,薄膜的结晶特性和表面形貌得到明显的改善.随着退火温度的增加,薄膜吸收截止边逐渐蓝移,带隙展宽.X光电子能谱分析发现,随着退火温度增加,Zn含量逐渐减小,这种现象被归结为组分蒸汽压的差异.在退火温度达到950℃时,样品发生了分相,出现了低Mg含量的六角相MgZnO.

关键词：MgZnO合金、热退火、表面形貌、晶粒尺寸

所属期刊栏目：32

分类号：O472.1;O484.41(半导体物理学)

资助基金：the National Basic Research Program of China 973 Program2011CB302006;the National Natural Science Foundation of China10974197,60806002;the 100 Talents Program of the Chinese Academy of Sciences;国家“973”计划2011CB302006;国家自然科学基金10974197,60806002;中国科学院百人计划资助项目

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：973-976