ZnO/Ag/ZnO多层结构薄膜的光电性质

摘要：

通过磁控溅射方法生长了不同银层厚度的ZnO/Ag/ZnO多层结构的薄膜,并对其形貌、光吸收谱、光致发光和光响应特性进行了比较研究.结果表明ZnO薄膜中银薄层的加入使得光致发光的强度增强.银层厚度为6 nm样品制成的器件在350 nm处的光响应度为0.06 A/W,相对于ZnO薄膜提高了一个数量级.而当银层厚度达到15 nm时,光响应度反而下降.

关键词：ZnO多层结构、银薄层、光致发光、光响应

所属期刊栏目：32

分类号：O472.8;O482.31(半导体物理学)

资助基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目KJCX3.SYW.WOI

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：920-923