氧化锌/金刚石薄膜异质结紫外光探测器

摘要：

采用射频磁控溅射法在p型自支撑金刚石衬底上制备了高度c轴取向的n型氧化锌薄膜.研究了不同的溅射功率对氧化锌薄膜质量的影响.通过半导体特性分析系统测试了氧化锌/金刚石异质结的电流-电压特性,结果显示该异质结二极管具有良好的整流特性,开启电压约为1.6 V.在此基础上制备了结型紫外光探测器,并对其光电性能进行了研究.结果表明,在施加反向偏压的条件下,该探测器对紫外光具有明显的光响应.

关键词：自支撑金刚石、氧化锌、探测器、异质结

所属期刊栏目：32

分类号：O472.3;TN315(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60877017;长江学者和创新团队发展计划IRT0739;上海市重点学科资助课题S30107;上海市教育委员会优秀青年教师基金shu09007;上海市教育委员会科研创新项目08YZ04

在线出版日期：2011-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：272-276