催化剂对纳米非晶碳膜场发射性能的影响

摘要：

利用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在经处理的单晶硅衬底上沉积了纳米非晶碳薄膜.通过Raman、SEM、XRD表征,研究了催化剂对纳米非晶碳膜的生长速率及场发射性能的影响.结果表明,在制备纳米非晶碳膜时使用FeC13,作为催化剂可大幅提高其生长速率.在相同的制备条件下,与未加FeCl3催化剂制备的纳米非晶碳膜的场发射性能相比,加催化剂制备的碳膜开启电场降至0.5 V·μm-1;在1.8 V·μm-1的电场下,电流密度可以达到2.6 mA·cm-2,而且发射点密度较大、分布均匀.

关键词：纳米非晶碳膜、催化剂、场发射

所属期刊栏目：32

分类号：O462.4(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：河南省基础与前沿技术研究计划092300410139;航空基金2009ZE55003;河南省教育厅自然科学基础研究计划2010B140015

在线出版日期：2011-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86