Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构和光学性质
利用溶胶-凝胶法,在普通载玻片上使用旋转涂膜技术制备了具有c轴择优取向生长的Na-Mg共掺杂的ZnO薄膜.用XRD、SEM、光致发光(PL)及透射光谱对薄膜样品进行了表征.结果表明:Na-Mg共掺杂有利于ZnO薄膜的c轴择优取向生长,并且随着Na+掺杂浓度的增加,晶粒尺寸先增大后减小;通过比较不同掺杂浓度ZnO薄膜的PL谱,推测发光峰值位于380 nm的紫外发射与ZnO的自由激子复合有关;发现掺入Mg的确能使ZnO禁带宽度增大,掺杂组分为Na0.4Mg0.2Zn0.76O时,其PL谱只有一个很强的紫光发射峰,其近带边紫外光发射强度较未掺杂的ZnO增强了近10倍,极大地提高了薄膜紫外发光性能;并且随Na+浓度增加薄膜透光性减弱.
ZnO薄膜、Na-Mg 共掺杂、溶胶-凝胶法、光致发光谱
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O472.3;O482.31(半导体物理学)
国家基础科学人才培养基金J0630313;东南大学MEMS教育部重点实验室开放课题基金2006SEU-MEMS02
2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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353-358
