Si(001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析

摘要：

采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料.实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构.在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等.分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联.

关键词：闪锌矿结构、氧化锌、分子束外延生长、硅(001)

所属期刊栏目：31

分类号：O472.1;O482.31(半导体物理学)

资助基金：福建省自然科学基金2009J01267

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：209-213