类球状微米金刚石聚晶膜场发射的稳定性

摘要：

在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶膜.通过二极管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、XRD分析了场发射前后薄膜的结构和表面形貌的变化.发现在高场、大电流密度的场发射中,对类球状微米金刚石聚晶薄膜中的金刚石聚晶颗粒影响很小,而对金刚石聚晶颗粒间的非晶碳层影响很大.对类球状微米金刚石聚晶变化机理进行了研究.

关键词：微波等离子体化学气相沉积、场致电子发射、金刚石聚晶

所属期刊栏目：30

分类号：TN873.95(无线电设备、电信设备)

资助基金：教育部科学技术重点资助项目205091

在线出版日期：2010-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：872-876