退火处理对ZnS薄膜的结构和光学性质的影响
在200 ℃下利用激光沉积技术分别在玻璃和Si(100)上沉积制备了ZnS薄膜,并在300,400,500 ℃下退火1 h.用X射线衍射(XRD)仪、紫外/可见光/近红外分光光度计、台阶仪和原子力显微镜(AFM)分别对不同衬底上样品的特征进行了观察.结果表明,玻璃上的ZnS薄膜只在28.5°附近存在着(111)方向的高度取向生长.在可见光范围内透射率为60%~90%.计算显示薄膜的光学带隙在3.46~3.53 eV之间,其小于体材料带隙的原因在于硫元素的缺失.根据光学带隙判断薄膜是单晶立方结构的β-ZnS.Si(100)上生长的是多晶ZnS薄膜:500 ℃下退火后,表面也比未退火表面更加平整致密,变化规律与ZnS/glass的类似.说明高温下退火可以有效地促进晶粒的结合并改善薄膜质量.
脉冲激光沉积、薄膜、光学带隙、表面形貌
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O484.1;O484.41(固体物理学)
山东省自然科学基金Y2002A09
2009-12-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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