Zn1-xMgxO和Zn1-xMnxO薄膜的制备及其发光性能

摘要：

采用溶胶-凝胶技术,在Si(110)衬底上制备了Mg、Mn掺杂外延生长的Zn1-xMgxO和Zn1-xMnxO薄膜,通过XRD、AFM、PL等考察不同杂质浓度对薄膜结晶质量和发光性能的影响.结果表明:Zn1-xMgxO和Zn1-xMnxO薄膜均具有较高的Tc(002)结构系数和较为光滑、平整的表面形貌.掺杂使得薄膜的紫外发光峰向短波方向移动至365 nm左右,同时Zn1-xMnxO薄膜的室温可见光发射得以有效地钝化,使其近带边紫外光发射与深能级可见光发射比例高达56,极大地提高了薄膜紫外发光性能.并对掺杂薄膜紫外发光蓝移和Zn1-xMnxO薄膜室温可见光发射的猝灭机理进行了深入探讨,得出掺杂组分为Zn0.85Mg0.15O、Zn0.97Mn0.03O时,薄膜具有最强的紫外光发射性能.

关键词：溶胶-凝胶技术、Zn1-xMgxO薄膜、Zn1-xMnxO薄膜、光致发光

所属期刊栏目：30

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：西安应用材料创新基金XA-AM-200512

在线出版日期：2009-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：624-629