Ce3+注入对不同尺寸的nc-Si/SiO2超晶格发光特性的影响

摘要：

通过电子束蒸发方法以及高温退火处理,得到nc-Si/SiO2超晶格.将样品分别注入剂量为2.0×1014 cm-2和2.0×1015 cm-2的Ce3+,再对其进行二次退火处理,获得多组样品.通过对样品光致发光光谱的分析发现,样品发光强度的变化不仅受到Ce3+注入剂量的影响,而且也受到nc-Si颗粒大小的影响.在相同注入计量和相同的二次退火处理温度下,nc-Si颗粒较大的样品经Ce3+注入后其发光强度增强较为明显.

关键词：超晶格、硅纳米晶、Ce3+注入、光致发光

所属期刊栏目：30

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60577022

在线出版日期：2009-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：417-420