柔性有机电致发光器件导电基板的工艺性能

摘要：

在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)柔性衬底上采用直流磁控溅射技术制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了衬底温度、溅射功率和溅射压强等工艺条件对薄膜光电性能的影响,并利用原子力显微镜(AFM)表征了衬底及ITO薄膜的表面形貌.结果表明,在PET衬底温度50 ℃、溅射功率100 W和溅射压强2.66×10-1 Pa的条件下,可以得到低方阻(50 Ω/□)和高透过率(＞90%)的透明导电薄膜.以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg:Ag的柔性有机电致发光器件,在驱动电压为13 V时,器件的发光亮度达到了2 834 cd/m2.

关键词：有机电致发光器件、柔性基板、氧化铟锡薄膜、直流磁控溅射

所属期刊栏目：29

分类号：TN383.1;TN873.3(半导体技术)

资助基金：国家杰出青年科学基金60425101;教育部新世纪优秀人才支持计划NCET-06-0812;电子科技大学中青年学术带头人计划060206

在线出版日期：2009-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：967-972