溶胶-凝胶法制备MgxZn1-xO薄膜的结构及光学特性

摘要：

用溶胶-凝胶法制备了一系列的MgxZn1-xO(0≤x≤0.3)薄膜,并用X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)研究了不同的退火温度和Mg的掺杂含量对MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性质的影响.研究表明:MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,并且具有沿c 轴的择优取向;发现了中间热处理温度为350 ℃的MgxZn1-xO薄膜退火温度的转折点为700 ℃,低于这个温度时随退火温度的升高,(002)衍射峰强度增强且掺Mg的薄膜既有紫外光又有绿光发射;800 ℃退火时,薄膜的(002)衍射峰强度减小,出现了(100)和(101)衍射峰,且掺Mg的薄膜只有紫外发光峰.不同的掺杂浓度对于发光也有影响,低于700 ℃退火时, ZnO薄膜只出现紫外发光峰,掺Mg的薄膜却出现了紫外和绿光两个发光峰.

关键词：MgxZn1-xO薄膜、溶胶-凝胶法、XRD、光致发光

所属期刊栏目：29

分类号：O472.3;O482.31(半导体物理学)

资助基金：广东省自然科学基金5003289;教育部博士点基金20060558068

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：718-722