自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.
声表面波滤波器、金刚石、ZnO薄膜、磁控溅射
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O482.31(固体物理学)
国家自然科学基金资助项目60307002
2008-08-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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