热处理对纳米金刚石涂层场发射性能的影响

摘要：

用旋涂法在金属钛衬底上涂敷纳米金刚石,经过适当的热处理形成金刚石涂层与金属钛衬底的化学键合,即形成衬底与涂层之间的过渡层,从而为纳米金刚石颗粒提供电子,使其成为有效的发射体.用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射和拉曼散射等手段分析了温度对键合效果以及场发射性能的影响,温度过高或过低都不利于提高纳米金刚石涂层的场发射性能,只有在700 ℃左右对样品进行热处理,才能得到较好的键合状态.改变涂膜时旋涂的次数以获得不同涂层厚度的样品,对其在700 ℃的相同温度下进行热处理,发现涂层过厚或过薄都不利于样品发射性能的提高.旋涂9次并于700 ℃热处理的样品具有较好的场发射性能,其发射阈值场强可达4.6 V/μm,而15.3 V/μm场强下的电流密度为59.7 μA/cm2.

关键词：纳米金刚石涂层、金属钛衬底、场发射、热退火、键合

所属期刊栏目：29

分类号：O462.4;TN873.95(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：陕西省科技发展计划2001K07-G4

在线出版日期：2008-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：387-392