多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究

摘要：

为实现GaAs表面的钝化,以Na2S、(NH4)2S、CH3CSNH2为主要研究对象,通过对比实验研究得出较为理想的湿法钝化液.通过光致发光(PL)谱研究了(NH4)2S+叔丁醇、CH3CSNH2+NH4OH、CH3CSNH2+叔丁醇三种不同含硫溶液钝化(100)GaAs表面后的发光特性.PL谱测试发现,(NH4)2S+叔丁醇饱和溶液处理过的(100)GaAs表面光致发光强度最强,PL谱的相对发光强度是未做钝化处理的10倍左右.因此得出(NH4)2S +叔丁醇饱和溶液是较为理想的(100)GaAs表面钝化液.

关键词：砷化镓、表面钝化、光致发光、非辐射复合

所属期刊栏目：28

分类号：O472.1;O482.31(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60477010;60476026;武器装备预研基金9140c3103020604

在线出版日期：2008-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：904-906