白碳纳米晶薄膜及其场致电子发射特性

摘要：

利用微波等离子体化学气相沉积方法,以甲烷、氢混合气体为反应气体,具有钛镀层的玻璃作为衬底,制备了具有sp1杂化结构的白碳纳米晶薄膜.利用X射线衍射、俄歇电子能谱,以及扫描电子显微镜对薄膜结构进行了表征.以白碳纳米晶薄膜为阴极,以镀有ITO透明导电薄膜玻璃为阳极,采用二极管结构,测试了白碳纳米晶薄膜的场致电子发射特性.开启电场为2.5 V/μm,在电场为5 V/μm时的电流密度为 200 μA/cm2.对白碳纳米晶薄膜生长机理,以及其场致电子发射机制进行了讨论.

关键词：白碳、白碳纳米晶薄膜、微波等离子体化学气相沉积、场致电子发射

所属期刊栏目：28

分类号：O462.4(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金60641005;60478002

在线出版日期：2007-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：599-603