10.3321/j.issn:1000-7032.2007.02.016
侧墙倾斜的水平半导体/空气分布布喇格反射器的设计
时域有限差分(FDTD)法计算表明,在常规的水平半导体/空气分布布喇格反射器(DBR)设计中为了得到高反射率,DBR中侧墙与衬底垂直非常重要.对于GaN基材料DBR侧墙如果有3°的倾斜,反射率将下降到30%左右,然而在实验上很难得到侧墙与衬底垂直的GaN基DBR结构.考虑到侧墙倾斜问题我们提出了新的DBR设计方法,采用这种方法即使DBR侧墙有较大的倾斜也可以得到高的反射率.设计的关键是在侧墙倾斜的情况下保持每个DBR周期光程差与垂直情况下一致,根据光的干涉原理我们给出了详细的解释.
时域有限差分、分布布喇格反射器、反射率、倾斜、干涉
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O472.3(半导体物理学)
曲阜师范大学校科研和校改项目XJ0622
2007-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
225-230