图形反转工艺制作OLED器件的阴极分离器

摘要：

应用AZ5214光刻胶的反转特性,在玻璃基板上制作OLED器件的阴极分离器.指出影响倒梯形形状的主要因素为涂胶厚度、曝光量和反转烘烤.SEM测试表明分离器的断面呈倒梯形,倾角约为45°,胶厚3 μm.得到了优化的制备分离器工艺参数:匀胶转速1 200 r/min,烘烤温度100℃,时间90 s,曝光时间0.8 s,反转烘温度125℃,时间45 s,泛曝光时间5.5 s,显影时间40 s.

关键词：有机发光二极管、阴极分离器、图形反转、光刻、倒梯形

所属期刊栏目：28

分类号：TN383.1;TN873.3(半导体技术)

资助基金：电子科技大学-浙江阳光集团联合资助项目W050317

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：198-202