籽晶层对喷雾热分解法生长ZnO薄膜结晶质量和光电性能的影响

摘要：

通过脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上沉积一层高质量的ZnO籽晶层,在籽晶层上进一步采用超声喷雾热分解(USP)法生长ZnO薄膜,研究了籽晶层对ZnO薄膜结晶质量和ZnO/Si异质结光电特性的影响.研究结果表明,在籽晶层的诱导作用下, USP法生长ZnO薄膜由多取向结构变为(002)单一取向,结晶性能得到了显著改善;籽晶层上生长的薄膜呈现出垂直于衬底生长的柱状晶结构,微观结构更加致密.通过研究紫外光照前后ZnO/Si异质结的整流特性,发现引入籽晶层后,反向偏压下异质结的光电响应显著增加,并且在开路状态下出现明显的光伏效应.

关键词：ZnO薄膜、籽晶层、喷雾热分解法、结晶质量、光电性能

所属期刊栏目：27

分类号：O472.4(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金90401010;上海市应用材料研究发展基金0516;上海市科技发展基金046105009

在线出版日期：2007-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：933-938