ZnO肖特基势垒紫外探测器

摘要：

以p-Si(111)为衬底,用水热法首次制得六棱微管ZnO.并以此为有源区利用平面磁控溅射技术沉积得到Ag叉指状电极,从而制作了Ag/n-ZnO肖特基势垒结紫外探测器.对该紫外光探测器的暗电流和365nm波长光照下的光电流、光响应和量子效率进行了测试.测试结果表明:Ag和ZnO六棱管间已形成肖特基接触,其有效势垒高度为0.35 eV.无光照时,暗电流很小,当用λ=365 nm的光照射Ag/n-ZnO肖特基结时,在5,9 V偏压时,光生电流分别为25.6,57.9μA.Ag/n-ZnO紫外探测器有明显的光响应特性和较高的量子效率,在366 nm波长处,光响应度达到最大值0.161 A/W,量子效率为54.7%.

关键词：六棱微管ZnO、肖特基势垒结、紫外光探测器、I-V特性、光响应度、量子效率

所属期刊栏目：26

分类号：O472.3(半导体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划51310Z09-4;国家自然科学基金60390073

在线出版日期：2005-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：135-138