刻线镍膜上沉积的碳纳米管场发射特性

摘要：

利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜.通过SEM和拉曼光谱表征,讨论了催化剂厚度、制备温度、反应时间以及甲烷浓度对碳纳米管场发射的影响.结果表明:不同条件下制备的碳纳米管的场发射性能有很大差异,保持氢气的流量(100 sccm)不变,当甲烷流量为5 sccm、生长时间为5 min、催化剂膜厚为150 nm、温度为700～800℃时,场发射性能最好,开启场强为1.3 V/μm,最大发射电流达到6.8 mA/cm2.

关键词：碳纳米管、微波等离子体化学气相沉积、场发射、拉曼光谱

所属期刊栏目：25

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：河南省科技攻关项目0324220160

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：743-747