空气和氧气气氛下p-GaN/Ni/Au合金性质

摘要：

研究了p-GaN上的Au/Ni双金属层在空气气氛和氧气气氛下合金对其欧姆接触性质的影响.使用同步辐射高强度X射线衍射观察到明显的NiO衍射峰.随着合金时间的增加,NiO和Au的结晶性均明显变好,NiO的衍射峰强度随合金时间的增加而增强,同时发现Au(111)沿GaN的(0001)面择优形成单晶.测得Ni/Au-p-GaN-Ni/Au串联电阻在合金后明显降低,表明接触性质改善与结晶性的提高有关.同时发现氧气下合金比空气下合金形成NiO更快,相应的串联电阻也更快地下降.

关键词：氮化镓、欧姆接触、同步辐射X射线衍射

所属期刊栏目：25

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60376005,60276010;国家高技术研究发展计划863计划2001AA313140,2001AA313060

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：691-695