ZnO薄膜的特殊光谱性质及其机理

摘要：

以同步辐射真空紫外光(195nm)为激发源,在低温下观察到Si基衬底上ZnO薄膜的发光有三种紫外发射,其峰值波长分别为380,369.5,290nm.它们各自具有不同的衰减时间和不同的温度依赖关系,但其激发谱相同.强激发带不在近紫外区,而在真空紫外区(100～200nm),可能源于ZnO的下价带(Zn3d组态)电子的激发.对三种紫外发射的来源作了分析讨论.

关键词：ZnO薄膜、发光、真空紫外、光谱特性

所属期刊栏目：25

分类号：O472.3(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金90201038

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：272-276