ZnO薄膜光学常数测量

摘要：

利用Kramers-Kronig方法(K-K方法)测量了ZnO薄膜的复介电常数和复折射率(折射率和消光系数).为了满足K-K方法所要求的条件,光源发出的光束通过一个特殊设计的中间带孔的反射镜垂直投射到ZnO薄膜表面,在ZnO薄膜表面产生的反射光穿过反射镜中间的小孔进入单色仪,从而测量出正入射情况下ZnO薄膜的反射光谱.对有限波段下测量的数据经合理的外推后,得出全波段的薄膜反射谱,然后利用K-K方法计算出ZnO薄膜的复介电常数和复折射率.实验结果表明,氧化锌薄膜在可见光范围内的折射率近似为一常数3.5;在430 nm附近出现折射率最大值,而在短波长范围所对应的折射率大大降低,其值在0.5～2.5之间起伏波动.

关键词：氧化锌薄膜、反射光谱、K-K关系、光学常数

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分类号：O471(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10174072,50142016;科技部快速反应基金[2001]584

在线出版日期：2004-06-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：159-162