溶胶-凝胶法制备ZnO纳米薄膜的工艺和应用

摘要：

ZnO是一种重要的功能材料和新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带半导体材料.采用溶胶-凝胶(Sol-gel)工艺在Si(100)、Si(111)和c面蓝宝石衬底上成功制备出高质量的ZnO纳米薄膜,并用XRD、SEM、AFM等方法研究了薄膜的特性.首次以制备的ZnO纳米薄膜为缓冲层,在n型Si(100)衬底上采用低压化学气相沉积(LPCVD)工艺外延生长了SiC薄膜,得到了低载流子浓度、高电子迁移率和高空穴迁移率的两种SiC薄膜样品,分析了该薄膜的性能.

关键词：ZnO薄膜、溶胶-凝胶工艺、纳米薄膜、宽禁带半导体

所属期刊栏目：25

分类号：O472.3(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60276045

在线出版日期：2004-06-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：123-128