可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制

摘要：

从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面,介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置.并针对典型的晶体退火过程,详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作.通过不同气氛条件下对钨酸铅(PbWO4)的退火处理实验证实,这套装置能够满足晶体生长后期退火处理的实际需要.

关键词：退火、可编程温度控制器、PID调节

所属期刊栏目：23

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金19774043;上海市教委资助项目;上海市自然科学基金01QN18;教育部优秀青年教师资助计划教人司2002123;教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：619-622