ZnO薄膜的反射、透射光谱及能带结构测量

摘要：

采用正入射的方法研究了生长在硅基片上的氧化锌薄膜的反射光谱,测量出氧化锌薄膜的光学吸收边在370nm,所对应的能量值为3.35eV.测量生长在石英玻璃基片上的氧化锌薄膜的透射光谱,得到相同的吸收边.表明ZnO薄膜的光学禁带宽度与体材料的禁带宽度一致.反射谱中,在550～600nm之间观察到一个吸收峰,吸收峰的位置以及吸收边的陡峭程度都随薄膜的结晶状况的不同而有所不同.

关键词：氧化锌薄膜、反射光谱、透射光谱、能带结构

所属期刊栏目：23

分类号：O472.3(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10174072,50142016;科技部快速反应基金[2001]584

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：559-562