火焰原子吸收法测定CdSe薄膜晶体管中Cd与Se的化学组成质量比

摘要：

以特纯CdSe为标样,用火焰原子吸收法(FAAS),分别测定CdSe薄膜晶体管(TFT)中Cd与Se的含量及化学组成质量比,分别验证了CdSe粉末总量测定值,CdSe粉末化学组成质量比测定值,薄膜样品测定值的准确度,其相对误差分别为0.42%、-3.8%和-0.5%.分析了薄膜样品化学组成质量比及影响其匹配的因素.通过测定数据对TFT的质量提供评价,进而指导操作工艺的改进.本实验由于采用同一标样,被测物质与标准样品的组成和浓度基本相同,消除了元素间的相互干扰,提高了分析结果的准确度,并无需作干扰和回收率实验.

关键词：火焰原子吸收法、硒化镉、薄膜晶体管、硒、镉

所属期刊栏目：23

分类号：O657.31(分析化学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-003-0070

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：206-208