氮化镓/蓝宝石异质结构中极性的研究

摘要：

用低压金属有机气相外延方法设备在蓝宝石衬底两个相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜,对此进行了扫描电子显微镜、透射电子显微镜的分析和研究.发现当衬底表面是向籽晶面时,生长的六方相氮化镓薄膜为(0001)取向,而当衬底表面是背籽晶面时,生长的氮化镓薄膜则为(0001)取向.

关键词：极性、GaN/A12O3、MOVPE

所属期刊栏目：22

分类号：TN312.8(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60086001;国家重点基础研究发展计划973计划G20000683

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37