用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜

摘要：

本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜,薄膜具有(002)取向,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右,现有的薄膜在525nm处有强的光致发光.

关键词：氧化锌薄膜、电子束热蒸发、光致发光光谱

所属期刊栏目：22

分类号：O482.3(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59872037

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：309-311