溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性

摘要：

近紫外光发射氧化锌薄膜是一种新兴的发光材料，它的发光波长比氮化镓的蓝光波长更短，在光存储应用中可以进一步提高光存储的密度，因而在光电子领域具有重要应用价值而备受关注。在此介绍我们用直流反应溅射方法在硅衬底上生长的氧化锌薄膜，观察了它们的阴极射线发光和光致发光光谱，研究了发光与薄膜晶体结构，以及发光与激发电子束流的关系等。并从中推测出ZnO薄膜中的发光中心。

关键词：氧化锌薄膜、阴极射线发光光谱、光致发光光谱、发光特性

所属期刊栏目：22

分类号：O482.3(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59872037;安徽省科技厅自然科学基金98641550;科技部专项基金国科基字[1998]010号

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：167-171