侧链型聚合物DANS-PMMA脊形条波导的制备

摘要：

有机聚合物的紫外漂白，经过一系列复杂的光化学反应，会使聚合物薄膜的折射率和厚度降低。在此基础上，利用金属掩模对聚合物薄膜进行选择性紫外漂白，制备出聚合物脊形条波导。紫外漂白不需要对聚合物薄膜进行光刻和腐蚀便可获得边缘和表面比较整齐和光滑的脊形条波导，对减少波导的散射损耗十分有利。本文介绍了利用紫外漂白和金属掩模方法制备侧链型聚合物DANS(4-dimethylamino-4’nitro-stlibene)PMMA(polymethyl methacrylate)脊形条波导的工艺过程，并对关键工艺进行了讨论。

关键词：紫外漂白、侧链型聚合物DANS-PMMA、脊形条波导

所属期刊栏目：22

分类号：TN265.31(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目;国家自然科学基金59790050-04

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：147-150