MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性

摘要：

近年来，随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展，许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法，试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜；研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响；观察了样品的室温光致发光光谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较，提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。

关键词：氧化锌、薄膜制备、结构特性、光致发光

所属期刊栏目：22

分类号：O482.3(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59872037;安徽省自然科学基金98641550;科技部科研项目国科基字[1998]010号

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：119-124