用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜

摘要：

报道了用金属锌有机源和二氧化碳混合气源等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法成功地制备高质量择优取向(0002)的ZnO薄膜.通过X-ray衍射谱进行了结构分析得到六方结构,择优取向,晶粒尺寸大约在220nm.并通过原子力显微镜分析更进一步验证了晶粒的尺寸.通过透射谱分析观察到了典型的激子吸收线.这种方法的特点是可以在低温条件下在任何衬底上生长大面积均匀性好、结晶度高的ZnO薄膜.

关键词：氧化锌、薄膜、等离子体增强化学气相沉积

所属期刊栏目：21

分类号：O482.3(固体物理学)

资助基金：中国科学院"百人计划"ZJ00Y18D;中国科学院资助项目69977019

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：383-384