基于QA3000的VDMOS芯片RG测试技术改造

摘要：

该文简要介绍了QA3000系统的测试能力和VDMOS芯片的基本构造原理,通过对现有测试设备性能特点和VDMOS芯片RG参数测试原理进行分析,协同设备供应商一起通过技术方案论证,设计出一种基于QA3000测试系统的”嵌入式RG测试改造”技术解决方案 该技术改造方案设计独特,开发周期短,测试性能稳定;改造方案的成功开发,解决了中测VDMOS芯片RG参数测试问题,方便工艺跟踪分析,提升产品品质和市场竞争力.

关键词：RG测试、方案、性能、嵌入式、技术改造、工艺分析

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2015-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：63-68,72