浅谈平面高压VDMOS工艺平台发展

摘要：

该文从国内生产线的实际出发，简单介绍了目前国内主流功率VDMOS器件生产厂家所采用的平面高压VDMOS工艺平台，初步总结了当前各种成熟工艺平台具有的特点与优点，希望该文有助于国内同行之间相互借鉴与提高，目的是促进民族工业不断向前发展。

关键词：VDMOS工艺平台、元胞、主结、终端结构、分压环、场板、空间电荷区、PN结、EAS

分类号：TN432(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-8,13