10.3969/j.issn.0495-5331.2001.06.026
大腔体人造金刚石合成工艺的研究
分析了我国现阶段金刚石的合成工艺——φ23 mm腔体工艺的基础上,利用变功率合成技术和瓶颈效应后改变组装方式,使腔体内的物量比合理化,以达到腔体内合成温度和压力均匀,控制金刚石的生长速度,在较低的合成压力和合成功率下,在φ28.5 mm腔体和φ31 mm腔体上,合成优质高产金刚石.
大腔体、瓶颈效应、合成工艺
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TQ163
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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