hBN栅绝缘介质石墨烯射频场效应管建模与性能研究

摘要：

具有原子级平滑表面的hBN(六方氮化硼)不仅与石墨烯有相同的二维平面结构,而且还有许多相似的特性,采用hBN作为栅绝缘介质,有望可以提升石墨烯射频场效应管的性能.为了研究hBN栅绝缘介质石墨烯射频场效应管的射频特性,基于SILVACO TCAD软件进行了hBN栅绝缘介质石墨烯射频场效应管结构建模,通过数值计算对器件的转移特性、输出特性、电容特性以及射频特性进行了模拟计算.结果表明:器件的特征频率fT(单位增益带宽)高达58.79 GHz、最大振荡频率fMAX高达75.58 GHz、单位长度栅电容CGC小于7.5×10-16 F/μm,阈值电压为0.38 V.研究结果对hBN栅绝缘介质石墨烯射频场效应管的开发、设计具有重要的参考价值.

关键词：石墨烯、六方氮化硼、场效应晶体管、射频特性、TCAD

所属期刊栏目：42

分类号：TN386.2(半导体技术)

资助基金：陕西省教育厅科研计划项目18JK0103

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：445-450