基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器设计

摘要：

设计了一种基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器.由于氮化硼的六方晶体结构与石墨烯的晶体结构高度相似,该传感器采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的石墨烯复合异质敏感薄膜作为压力传感器的敏感材料,利用石墨烯薄膜材料的压阻效应对压力进行检测.为保证传感器在400 MPa的压力载荷下对压力精准的检测,采用数学理论模型计算出不同孔径的纳米孔上石墨烯复合异质薄膜的应变大小,通过有限元仿真软件对石墨烯圆形薄膜的压力进行仿真,得到了圆形薄膜的最优半径.可为超高压石墨烯压力传感的结构设计和性能优化提供一定参考.

关键词：石墨烯、纳米孔、超高压、理论模型、有限元仿真

所属期刊栏目：42

分类号：TH823

资助基金：国防科技173计划技术领域基金项目2021JCJQJJ0172

在线出版日期：2023-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：76-81