基于双层金属光栅结构的红外辐射调控方法研究

摘要：

针对红外焦平面结构的红外促吸收问题,采用基于表面等离激元技术的红外辐射调控方法,利用微纳结构的调制作用和MIM谐振腔结构的波长调制理论,实现了3～5μm和8～14μm波长范围内吸收率的提高.通过在结构中增加两个光栅结构和金属反射层结构,在器件内部形成了多个谐振腔和多个促吸收结构,同时对光栅占空比、周期、厚度和位置进行优化以及对钝化层厚度进行调整,分析不同参数对红外吸收的调整作用.优化后的结构最大吸收率达到99.36％,3～5μm波长范围内的平均吸收率达到79.56％,8～14μm波长范围内的平均吸收率达到75.30％,有效拓展了红外传感器件在中远红外方面的应用前景.

关键词：表面等离激元、双层光栅、红外辐射、MIM谐振腔

所属期刊栏目：41

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;辽宁省高等学校创新人才支持计划

在线出版日期：2022-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：827-833