高转移效率时间飞行(TOF)图像传感器的像素单元优化

摘要：

针对TOF图像传感器转移效率不高的问题,利用Silvaco软件基于0.18μm CMOS工艺对传感器进行了建模和优化.通过电学和光学仿真,模拟了TOF图像传感器的复位、曝光等工作状态,探讨了曝光强度、曝光时间等对器件量子效率的影响.通过对模型进行防穿通注入工艺优化,很好地实现了钳位光电二极管和浮空节点的隔离.探讨了TOF中PPD的电荷快速转移优化,通过公式计算,获得改进后的优化模型,仿真结果证明其具有良好的转移速度和转移效率,平均转移时间节省近10倍,大大提高了电荷转移效率,为TOF图像传感器的优化和设计提供一个改进思路.

关键词：时间飞行、图像传感器、像素单元、钳位光电二极管

所属期刊栏目：41

分类号：TP212;TP391.41(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;辽宁省高等学校创新人才支持计划

在线出版日期：2022-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：810-815