Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究

摘要：

为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量("含量"指摩尔分数)对Na-MoO3靶材结构、组织、致密度以及Na回收率的影响.结果表明:在烧结助剂Al含量为1％、Na含量为3％、烧结温度为450℃的实验条件下,可以制备出致密度高(相对致密度98.2％)、钠回收率高(94.3％)的Na-MoO3陶瓷靶材.随着掺杂含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低.将含1％Al和3％Na的氧化钼陶瓷靶材通过磁控溅射工艺溅射成膜,所制备的Na-MoO3薄膜结构致密,0.28％Na元素均匀弥散分布于薄膜中.

关键词：放电等离子烧结;Na掺杂;MoO3陶瓷靶材;磁控溅射;Na离子源

所属期刊栏目：41

分类号：TN304.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金U1804124

在线出版日期：2022-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：40-46,103