基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究

摘要：

提出一种新型推挽式热膨胀流陀螺结构,并解释了它的敏感机理.通过建立陀螺敏感元件的二维模型,利用COMSOL有限元分析软件对敏感元件内的温度场和气流速度场进行了计算,同时研究了角速度对温度场和气流速度场变化的影响,最后在Proteus电路仿真软件中通过建立陀螺检测电路模型定量地计算了热膨胀流陀螺的输入输出特性关系.计算结果表明,该结构设计的陀螺具有陀螺效应,角速度范围在 ±20 rad/s内时,热膨胀流陀螺输入角速度与输出电压关系的比例系数k为0.3293 mV/(rad·s-1).该研究成果为新型结构热膨胀流陀螺的结构设计奠定了坚实的理论基础.

关键词：热膨胀流陀螺、有限元分析、电路仿真、敏感机理、MEMS

所属期刊栏目：40

分类号：TP202(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目;北京市重点实验室开放课题资助项目;北京信息科技大学促进高校内涵发展项目;现代测控技术教育部重点实验室资助;北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助

在线出版日期：2021-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：333-338