双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究

摘要：

随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要.在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000℃范围内的绝缘特性.另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现.结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3薄膜主要以非晶形式存在,薄膜断面的微观形貌致密;2μm厚度的Al2O3薄膜的室温电阻可达2 GΩ,800℃下电阻可达到5 kΩ,表明双离子束溅射方法制备的Al2O3薄膜绝缘层具有良好的高温绝缘性能.

关键词：双离子束溅射沉积、Al2O3薄膜、衬底温度、高温绝缘、温度传感器

所属期刊栏目：40

分类号：O484.4+2(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;新疆维吾尔自治区自然科学基金;新疆财经大学基金

在线出版日期：2021-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：311-315