10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1662
Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究
当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点.半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法.本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器.研究发现,当Pd的含量为SnO2的1%(质量分数)时,传感器在258℃工作温度下,对CO2有最大的响应值1.98.该传感器能够检测的CO2浓度下限为1000ppm,其响应值随着CO2浓度的升高而增大.
CO2气体传感器、厚膜、SnO2、Pd掺杂
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TM535(电器)
特高压工程技术昆明,广州国家工程实验室开放基金NEL201803,NEL201904
2021-02-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
11-18