低温共烧Mg2Al4Si5O18/MgO-B2O3-SiO2玻璃陶瓷

摘要：

为满足器件高度集成化、小型化、高频化需求,低介电常数且满足低温共烧(LTCC)技术应用的陶瓷基板材料具有重要研究价值.采用传统固相法制备Mg2Al4Si5O18/MgO-B2O3-SiO2(MBS)玻璃陶瓷,研究了MBS玻璃含量对Mg2Al4Si5O18陶瓷性能的影响.利用XRD、SEM、DSC、密度测试仪、矢量网络分析仪、热膨胀分析仪分析了样品的烧结特性、物相组成、微观形貌、介电性能及热学性能.结果 表明,添加质量分数为40％～50％的MBS玻璃可以成功将Mg2 Al4 Si5 O18陶瓷的烧结温度从1430℃降至950℃左右.当MBS玻璃的质量分数为47.5％时,在950℃下烧结0.5 h,可得到满足LTCC技术用Mg2 Al4Si5O18陶瓷基板材料:εr=5.1,tanδ=0.0023,热膨胀系数为6.6×10-6/℃.

关键词：Mg2Al4Si5O18、MgO-B2O3-SiO2、LTCC、玻璃陶瓷、介电性能

所属期刊栏目：39

分类号：TQ174.75

在线出版日期：2020-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46