柔性高温NiCr薄膜应变计研究

摘要：

耐高温的NiCr薄膜应变计在航空、航天领域有广泛的需求.采用射频磁控溅射方法制备了NiCr薄膜,研究了溅射气压和衬底温度对NiCr薄膜电阻温度系数的影响规律,结果表明:当溅射气压为0.2 Pa,基片温度为400 ℃时,电阻温度系数最小为130.7×10-6/℃.利用优化的工艺条件,在Hastelloy柔性合金衬底上制备了NiCr薄膜应变计,测试结果表明,所制备的NiCr薄膜应变计在各个温度下其电阻随着应变呈线性变化,其应变灵敏度(GF)因子随温度增加而增大,当温度超过200 ℃后,GF因子缓慢变化.温度为400 ℃时,GF因子达到3.实验得到的基于Hastelloy合金衬底的柔性薄膜应变计为高温应变测量提供了一种新的手段.

关键词：NiCr、高温应变测量、薄膜应变计、电阻温度系数、应变灵敏度因子

所属期刊栏目：39

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43