利用3D打印技术制备Al2 O3微波无源器件

摘要：

以Al2 O3陶瓷粉为原料,采用立体光固化成型技术制备微波介质谐振器和滤波器;采用扫描电子显微镜(SEM)表征材料的形貌,用阿基米德排水法对材料致密度进行了测试,用平行板谐振法对谐振器微波性能进行测试;通过调控陶瓷膏料中有机成分(反应单体、 反应稀释剂、 分散剂、 光引发剂等)和无机成分(Al2 O3及其掺杂)的比例,对打印参数和烧结曲线进行控制,实现了Al2 O3谐振器成型精度的精确控制.结果表明:当激光器功率500 mW,扫描速率2500 mm/min,材料固含量60％(体积分数),脱脂温度600℃,排胶速率1℃/min,烧结温度1700℃时,可以实现97.5％的理论密度,相对介电常数9.8,Q·f值20184.25 GHz(f=12.11 GHz),满足实际应用需求.这为制备复杂结构的微波无源器件提供了新的潜在技术途径.

关键词：3D打印、Al2O3、立体光固化成型、谐振器、滤波器

所属期刊栏目：38

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金51772107

在线出版日期：2019-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-48